直径:(200.0± 0.2) mm
厚度:10 ~ 20 mm
导电类型:n-type
晶面取向:(0001) 向 [11-2 0]偏4度
产品类型:晶锭
产品分级 | P级(Product grade) | D级(Dummy grade) |
直径 | (200.0 ± 0.2) mm | |
厚度 | ≥10mm | |
导电类型 | n-type | |
掺杂元素 | Nitrogen | |
电阻率范围(Ω·cm) | 0.015 – 0.028 | 0.015 – 0.028(75% area) |
微管密度 | ≤1 cm-2 | ≤10 cm-2 |
表面取向 | 4° toward [11-20] ± 0.5° | |
包装 | 单锭包装,真空包装 | |
边缘裂纹(强光灯观察) | 0 | |
六方空洞(强光灯观察) | 0 | ≤100um, Qty ≤ 10 ea |
多型区(强光灯观察) | 0 | Cumulative area ≤ 5% |
碳包裹物(强光灯观察) | Cumulative area≤0.05% | Cumulative area≤3% |
崩边/缺口(日光灯观察) | ≤3ea ,≤1mm width and depth | ≤5ea ,≤2mm width and depth |