6英寸导电型碳化硅晶锭

直径:(150 ± 0.25) mm
厚度:10~20mm
导电类型:n-type
晶面取向:(0001) 向 [11-2 0]偏4度
产品类型:晶锭

产品规格

产品分级 P级(Product grade) D级(Dummy grade)
直径 (150.2 ± 0.2) mm
厚度 ≥10mm
导电类型 n-type
掺杂元素 Nitrogen
电阻率范围(Ω·cm) 0.015 – 0.028 0.015 – 0.028(75% area)
微管密度 ≤0.2 cm-2 ≤2 cm-2
表面取向 4° toward [11-20] ± 0.5°
主参考边取向 // [11-20] ± 5.0°
主参考边长度 47.5 mm ± 2.0 mm
包装 单锭包装,真空包装
边缘裂纹(强光灯观察) 0
六方空洞(强光灯观察) size < 1mm, Cumulative area < 1% 0
多型区(强光灯观察) 0 Cumulative area ≤ 5%
碳包裹物(强光灯观察) Cumulative area≤0.05% Cumulative area≤5%
崩边/缺口(日光灯观察) ≤3ea ,≤1mm width and depth ≤5ea ,≤2mm width and depth